令和3年度補正予算 産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）【2次公募】 全国 期間 2022年2月4日から 2022年2月28日まで
令和3年度補正予算 産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）【1次募集】 全国 期間 2021年12月21日から 2022年1月14日まで
